同一批图纸,这次是chamber封板,还是PC透明板,还是上海裕诗实业,数量1个。
外形 483×203 mm,厚度 30 mm。和上一张晶圆治具相比,这块板厚多了,不是薄片问题,但面积大、有英制螺纹、还要保证透明PC的表面质量,几个问题叠在一起也不轻松。
从名称和结构看,这是半导体设备腔体(Chamber)的观察窗封板或密封盖板,PC透明材质方便操作人员透过封板观察腔体内部状态,常见于晶圆传输腔体、工艺腔体侧壁或维护窗口位置。
图纸上的孔位分两组:上边一排4个孔,孔间距 92 mm 和 218 mm;下边两个孔,间距 218 mm,距下边缘 10 mm,孔径 Φ9 mm。全部内装 1/4-20 英制牙套——这是美制粗牙螺纹,每英寸20牙,公称直径约6.35 mm。还有一个细节,侧面有"倒1"倒角(即 C1 倒角)。
1/4-20 英制螺纹牙套这个组合本身就是一个考点。PC材质直接攻 1/4-20 螺纹,反复装拆几次牙型就磨损滑牙,所以要装金属螺纹牙套(通常是不锈钢或钢制 Helicoil 牙套),让金属承受螺钉的锁紧力,PC本体只承压不受剪。工艺上,先按 1/4-20 牙套的安装孔径钻底孔,再攻安装螺纹(M8 或对应规格),最后热压或旋入牙套,牙套端面与PC表面齐平,不能凸出。每个牙套装完用 1/4-20 螺钉试拧,确认顺滑无卡阻才算合格。国内很多厂平时备的是公制牙套,1/4-20 的要专项备货,接到这类件如果不提前确认,交货才发现没料,就被动了。
PC透明板 483×203×30 mm,这个厚度夹持没问题,但加工孔时要注意:PC导热差,Φ9 mm 孔钻削时如果进给太快,孔壁会因热积累出现白化或细裂纹,在透明材质上非常明显。处理方式是低速大进给钻削,压缩空气冷却,每钻 5 mm 退刀排屑一次,孔壁光滑透明无白化才过关。
侧面 C1 倒角在 483 mm 长边上要全程均匀,不能有接刀台阶。PC铣削 C1 倒角用倒角铣刀一刀走完,中途不换刀不停留,倒角完成后手工轻抛保持透明度。
表面这块,PC透明板最怕划伤,装夹时垫软质保护膜,加工完毕保护膜不揭,交付时客户自己揭。这是莱图加处理透明材质件的标准做法,在半导体设备零件加工的透明观察窗类零件里用了很多次。
两张图纸下来,都是PC透明,都是1件,都是上海裕诗实业的小批量非标零件加工需求。这类单件定制件,工艺细节多,材质特殊,很多厂家不愿意接或者接了处理不好。莱图加在半导体设备零件加工上积累了足够多的PC、亚克力、PEEK等透明和工程塑料件的加工经验,英制螺纹牙套这类细节也是现成方案,不用客户解释一遍再重新摸索。
有类似 chamber 封板或透明材质结构件的需求,图纸发过来直接评估。
