这是客户的一件匀风隔板垫板，材质 PET。
外径 Φ329.8±0.1 mm，内径 Φ292.2（+0.3/0）mm，厚度 2（-0.10/0）mm。一张大盘薄环，厚度公差只有 0.10 mm。外圆周均布 12×Φ3.4 通孔配合 Φ6.8×90° 沉头，间距 15°。截面放大图显示边缘有 R6.4 圆角、C0.38 倒角、24° 和 40° 斜面，以及多段台阶，最薄处台阶 4.5（-0.10/0）mm 和 2（-0.10/0）mm。
匀风隔板在半导体腔体里的作用是均匀分布气流，避免晶圆表面出现局部涡流或流速不一致，影响工艺均一性。PET 比 PVC/PP 更硬，尺寸稳定性和耐热性都更好，适合对平面度和厚度一致性要求高的薄板功能件。
厚度控制是第一道关。 PET 原板本身有厚度公差，进料时要先逐张测厚，只选用 2.00～2.05 mm 范围内的板材。加工时用真空吸附平台底面固定，不用侧向夹持，避免薄板受力变形。上下两面各留 0.02 mm 精修余量，精修完用厚度千分尺逐件测量，确认在 1.90～2.00 mm 内。
外径和内径精车。 PET 不能用水性切削液——渗入会导致表面产生微裂纹。干切或压缩空气冷却，主轴转速 800～1000 rpm，精车后内外径用千分尺逐件测量。外径 Φ329.8±0.1 mm 在这个直径尺寸上需要精车一次修正，不能靠粗车直接到位。
截面边缘的多段精密特征。 R6.4、C0.38、24°、40° 集中在 2 mm 薄板边缘，用成型车刀一次走完整段截面，不分段换刀，避免接刀台阶。C0.38 倒角接近成型极限，刀具必须足够锋利，进给要放到最小。
12 个均布沉头孔的深度控制。 Φ3.4 通孔配合 Φ6.8×90° 沉头在 2 mm 薄板上，沉头稍微过深就穿透。沉头深度逐孔用深度千分尺复检，不能靠机床行程限位替代实测。
首件加工完全检各项尺寸，确认合格后才进入批量流程。
如果有零件需要加工，可以联系莱图加：18915717716，微信同号
